开云棋牌官网最新版 的制备—化学气相合成法

开云棋牌官网最新版 可以通过多种制备技术合成，这里我们来介绍一下化学气相合成法，1979年Sokolowski成功利用脉冲等离子体技术在低温低压下制备成立方开云棋牌官网最新版 (CBN)膜。所用设备简单，工艺易于实现，因此得到迅速发展。已出现多种气相沉积方法。

传统来讲主要是指热化学气相沉积。实验装置一般由耐热石英管和加热装置组成，基体既可以通过加热炉加热(热壁CVD)，也可以通过高频感应加热(冷壁CVD)。反应气体在高温基体表面发生分解，同时发生化学反应沉积成膜，反应气体有BCl3或B2H4与NH3的混合气体。